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plasma
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pulsed plasma etching
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Chemical amplified resist(CAR) type EUV photoresist의 표면 개질을 통한 내식각성 개선에 관한 연구
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2023-05 2023(5):36-36
Author
김희주
장원준
염근영
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Database : DBPIA
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금속성 첨가 Gas를 이용한 High Aspect Ratio Contact 공정 개선
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2023-05 2023(5):250-250
Author
강병진
탁현우
김성배
강지은
염근영
DB Label
Database : DBPIA
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3
그래핀의 원자층 식각 및 이를 이용한 고성능 SrTiO₃ 리모트 에피택시 및 리프트 오프에 관한 연구
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2023-05 2023(5):245-245
Author
강지은
김기석
지유진
최승엽
강나연
한혜원
염근영
DB Label
Database : DBPIA
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4
SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2022-06 2022(06):209-209
Author
안규환
김호곤
이용기
염근영
DB Label
Database : DBPIA
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5
초고주파(VHF) 플라즈마 강화 원자층 증착(PE ALD)과 기판 바이어싱으로 저온에서 증착된 SiO₂ 박막 특성 개선
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2022-06 2022(06):208-208
Author
이용기
김호곤
안규환
염근영
DB Label
Database : DBPIA
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Full Text (DBPIA)
6
TiO₂ Metalens 형성을 위한 다양한 펄스 플라즈마 식각
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2022-06 2022(06):72-72
Author
홍종우
김희주
김연희
배기덕
이정엽
김용수
배해수
염근영
DB Label
Database : DBPIA
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7
High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2021-12 2021(12):52-52
Author
탁현우
이혜주
정병호
이진석
박태현
성다인
문룡
김동우
염근영
DB Label
Database : DBPIA
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8
펄스 플라즈마 기술을 통한 Si trench 의 aspect ratio dependent etching 개선에 대한 연구
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2021-12 2021(12):103-103
Author
김희주
문룡
홍종우
장원준
남궁수
김동우
염근영
DB Label
Database : DBPIA
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9
이중 배기 시스템을 이용한 반응성 이온빔 식각 라디칼 제어 연구
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2021-12 2021(12):116-116
Author
장윤종
김두산
김예은
길홍성
염근영
DB Label
Database : DBPIA
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10
중성빔 식각기술을 통한 EUV Resist의 손상 감소에 관한 연구
회의자료
issue
한국표면공학회 학술발표회 초록집
. 2021-12 2021(12):115-115
Author
장원준
김희주
홍종우
남궁수
염근영
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Database : DBPIA
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한국표준과학연구원(KRISS)
한국항공우주연구원(KARI)
한국해양연구원(KORDI)
한국화학연구원(KRICT)
한국환경정책평가연구원
화학공학연구정보센터(고려대학교)
환경지질연구정보센터(연세대학교)
