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다성분 금속산화물계 TCO 제조를 위한 타겟의 생성 조건 연구

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자료유형기사
기사명다성분 금속산화물계 TCO 제조를 위한 타겟의 생성 조건 연구
저자명이영주
발행/형태사항: 산업과학기술연구소, 2012
수록잡지명RIST 硏究論文 : v.26 n.2
페이지61-66

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