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적외선 감지용 초전 센서 및 array 제조. 2,3차

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자료유형단행본
서명/저자사항적외선 감지용 초전 센서 및 array 제조. 2,3차= Fabrication of a pyroelectric sensor and array for detecting infrared ray/ 과학기술처 編; 한국과학기술원 硏究.
개인저자김종희 
단체저자명한국. 과학기술처.
한국과학기술원.
발행사항경기도: 과학기술처, 1997.
형태사항115, 138, 71, 52 p.: 삽화,챠트; 27 cm.
일반주기 본 보고서를 "적외선 감지용 초전 센서 및 array 제조" 과제의 2,3차년도 보고서로 제출합니다
연구기관: 한국과학기술원
연구자: 김종희 [외]
서지주기참고문헌포함
내용주기Pt.1, 박막형 적외선 센서 개발 (The develoment of thin film IR sensors). -- pt.2, 후막형 적외선 감지 초전 센서의 제조 (Fabrication of thick film type sensor for detecting infrared ray). -- pt.3.1, 회로기술 및 특성 평가 (Device technology and property analysis). -- pt.3.2, 화학습식법을 이용한 초전센서용 재료개발 (Synthesis of ferroelectric ceramic by acetate precursors for IR sensor materials)
분류기호(DDC)600
언어한국어
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No. 등록번호 청구기호 소장처 밀집번호 도서상태 반납예정일 예약 서비스 매체정보
1 50101193 RT 600 한17ㅇㅎ 97-01 c.2 여수캠퍼스도서관/밀집서고/ VYA306612 대출가능 보존/밀집/기증 자료 신청 분관대출 무인예약대출 이미지 배달서비스 인쇄 이미지
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2 523845 600 한17ㅇㅎ 97-1 중앙도서관[별관]/사범대5호관/ Z1043906 폐기제적 인쇄 이미지
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목차

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목차 일부

1, 서론. -- 2, 문헌조사. -- 2.1, Pt 기판 제작 연구. -- 2.2, 초전 센서의 원리 및 특성. -- 3, Sputtering 법을 이용한 기판용 Pt 박막의 증착에 관한 연구. -- 4, ECR enhanced sputtering 장비의 제작 및 P(L)T 재료의 증착 및 특성 분석. -- 4.1, ECR enhanced 4-target...

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