자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | Design of compact storage ring for Ⅹ-ray lithography = 반도체 생산 전용 소형 방사광 가속기 설계 / Yujong Kim. |
개인저자 | 김유종. Kim, Yu-jong, |
단체저자명 | 포항공과대학교. 대학원. 물리학과. |
발행사항 | 포항: Pohang Univ. of Science & Technology, 1996. |
형태사항 | iii, 63 leaves: ill.; 26 cm. |
학위논문주기 | 학위논문(석사) -- 포항공과대학교 대학원 : 물리학과 가속기 물리전공, 1996 |
비통제주제어 | COMPACT,STORAGE,RING,ⅩRAY,LITHOGRAPHY,반도체,소형,방사광,가속기 |
분류기호(DDC) | 535.58 |
언어 | 영어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 9019213 | TM 535.58 김67ㅂㅍ 1996 | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y2026701 | 대출불가(별치) |