자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | CI₂SF6 ECR 플라즈마를 이용한 Si 식각 메카니즘에 관한 연구/ 李相均 著. |
개인저자 | 이상균. |
단체저자명 | 전남대학교. 대학원. 물리학과. |
발행사항 | 광주: 전남대학교, 1999. |
형태사항 | iii 46 p.: 삽화; 30 cm. |
학위논문주기 | 학위논문(석사) -- 전남대학교 대학원:물리학과,1999년 8월 |
일반주기 |
지도교수: 이형종
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서지주기 | 참고문헌: p.41-42 |
비통제주제어 | CI₂SF6 ECR 플라즈마 ,Si 식각 메카니즘 |
분류기호(DDC) | 532.1 |
언어 | 한국어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 9020008 | TM 532.1 이51cㅈ 1999 c.2 | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y3126085 | 대출불가(별치) | ||||
2 | 9020007 | TM 532.1 이51cㅈ 1999 | 중앙도서관[별관]/학위논문실/ | Z4118268 | 대출불가(별치) |