RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 배향성과 압전변환 특성에 관한 연구

상세정보

자료유형	학위논문
서명/저자사항	RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 배향성과 압전변환 특성에 관한 연구= (A)study on the preferred orientation and piezoelectric conversion characteristics of ZnO thin films grown by RF magnetron sputtering/ 李鍾德.
개인저자	이종덕.
단체저자명	성균관대학교. 대학원. 전기공학과.
발행사항	서울: 成均館大學校, 1997.
형태사항	vi,103장: 삽화; 26cm.
학위논문주기	학위논문(박사) -- 성균관대학교 대학원:전기공학과 전기재료공학전공,1997
비통제주제어	RF,마그네트론,스퍼터링,ZNO,박막,배향성,압전변환,PREFERRED,ORIENTATION,PIEZOELECTRIC,CONVERSION,THIN,FILMS,GROWN,MAGNETRON,SPUTTERING
분류기호(DDC)	621.38
언어	한국어