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RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 배향성과 압전변환 특성에 관한 연구
상세 프로파일
상세정보
자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 배향성과 압전변환 특성에 관한 연구= (A)study on the preferred orientation and piezoelectric conversion characteristics of ZnO thin films grown by RF magnetron sputtering/ 李鍾德. |
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개인저자 | 이종덕.
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단체저자명 | 성균관대학교. 대학원. 전기공학과.
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발행사항 | 서울: 成均館大學校, 1997. |
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형태사항 | vi,103장: 삽화; 26cm. |
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학위논문주기 | 학위논문(박사) -- 성균관대학교 대학원:전기공학과 전기재료공학전공,1997 |
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비통제주제어 | RF,마그네트론,스퍼터링,ZNO,박막,배향성,압전변환,PREFERRED,ORIENTATION,PIEZOELECTRIC,CONVERSION,THIN,FILMS,GROWN,MAGNETRON,SPUTTERING |
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분류기호(DDC) | 621.38
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언어 | 한국어 |
소장정보
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No. |
등록번호 |
청구기호 |
소장처 |
밀집번호 |
도서상태 |
반납예정일 |
예약 |
서비스 |
매체정보 |
1 |
9022661 |
TD 621.38 이75ㄽ 1997 |
중앙도서관[별관]/보존자료실/
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Y2026228 |
대출불가(별치) |
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