이온스파터법을 利用한 다이아몬드 觸針의 加工과 加工된 觸針에 의한 表面거칠기 計測에 관한 硏究

상세정보

자료유형	학위논문
서명/저자사항	이온스파터법을 利用한 다이아몬드 觸針의 加工과 加工된 觸針에 의한 表面거칠기 計測에 관한 硏究= (A)study on the diamond stylus machining by ion sputter and measurement of surface roughness with machined stylus/ 盧炳沃.
개인저자	노병옥.
단체저자명	한양대학교. 대학원. 정밀기계공학과.
발행사항	서울: 漢陽大學校, 1991.
형태사항	x,169장: 삽화,도판; 26cm.
학위논문주기	학위논문(박사) -- 漢陽大學校 大學院:精密機械工學科,1991
비통제주제어	이온스파터법,다이아몬드,촉침,가공,가공된,표면거칠기,계측,DIAMOND,STYLUS,MACHINING,ION,SPUTTER,MEASUREMENT,SURFACE,ROUGHNESS,MACHINED
분류기호(DDC)	681.76
언어	한국어