자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | (A)study on the formation and properties of TaSi₂ for ULSI interconnection lines / 趙顯春. |
개인저자 | 조현춘. Cho, Hyun-choon, |
단체저자명 | 한양대학교. 대학원. 재료공학과. |
발행사항 | 서울: 漢陽大學校, 1992. |
형태사항 | vi,142 leaves: ill.; 26cm. |
학위논문주기 | 학위논문(박사) -- 한양대학교 대학원 : 재료공학과, 1992 |
일반주기 |
한글서명 : 초고집적 반도체소자의 배선재료로서 탄탈륨실리사이드의 형성 및 특성에 관한 연구
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비통제주제어 | TASI₂,ULSI,INTERCONNECTION,LINES |
분류기호(DDC) | 620.18 |
언어 | 영어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 9050231 | TD 620.18 조94ㅊㅎ 1992 | 중앙도서관[별관]/학위논문실/ | Z4102927 | 대출불가(별치) |