자료유형 | 단행본 |
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서명/저자사항 | 반도체 장비 생산 설계 고도화 개발 (CMP 가공 시스템 개발)= Development of advanced design technology for manufacturing system of semiconductor (Development of CMP system)/ 과학기술부 編. |
개인저자 | 이응숙 이후상 강재훈 신영재 제태진 |
단체저자명 | 한국. 과학기술부. 한국기계연구원. 한국과학기술원. 한양대학교. 부산대학교. |
발행사항 | 과천: 과학기술부, 2000. |
형태사항 | 98 p.: 삽화,챠트; 30 cm. |
보고서번호 | 99-NE-03-01-A |
일반주기 |
주관연구기관: 한국기계연구원
합동연구기관: 한국과학기술원, 한양대학교, 부산대학교 연구자: 이응숙, 이후상, 강재훈, 신영재, 제태진 |
서지주기 | 참고문헌포함 |
분류기호(DDC) | 621 |
언어 | 한국어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 657313 | 621 한17ㅇㄱ 99-NE-03-01-A | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y4131223 | 대출가능 |