자료유형 | 단행본 |
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서명/저자사항 | 마이크로 액추에이터 내장형 LIGA X-선 마스크 제작기법 개발과 그 응용= Deep X-ray mask with integrated microactuator for 3D LIGA microfabrication/ 과학기술부 [편]. |
개인저자 | 이승섭 |
단체저자명 | 한국. 과학기술부. 포항공과대학교. |
발행사항 | [과천]: 과학기술부, 2003. |
형태사항 | 62 p.: 삽화; 30 cm. |
총서사항 | 지능형 마이크로시스템 개발 사업=Intelligent microsystem program. |
보고서번호 | MS-02-338-01 |
일반주기 |
연구기관: 포항공과대학교, 책임연구: 이승섭
요약문: p. 3-5 Summary: p. 6-7 |
서지주기 | 참고문헌: p. 51-52 |
분류기호(DDC) | 621.366 |
언어 | 한국어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 775655 | 621.366 한17ㅁㄱ 2003-08 | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y4126620 | 대출가능 |