자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | Trench 실리콘 웨이퍼의 이온 주입과 어닐링 효과에 대한 연구/ 李永植 著. |
개인저자 | 이영식 |
발행사항 | 광주: 동신대학교, 1994. |
형태사항 | v, 40 p.: 삽화,사진; 26 cm. |
부분표제 | A Study on the Ion Implantation and Annealing Effect of Trench Silicon Wafer |
학위논문주기 | 學位論文(碩士) -- 東新大學校 大學院:電子工學科,1994 |
서지주기 | 참고문헌 수록 |
분류기호(DDC) | 620.112 |
언어 | 한국어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 50142242 | TM 620.112 이64Tㄷ | 여수캠퍼스도서관/논문실/ | 대출불가(별치) |