자료유형 | 학위논문 |
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서명/저자사항 | 히터가 집적화된 프로브 어레이를 이용한 마이크로/나노 패터닝 연구 최영수 저. |
개인저자 | 최영수. |
단체저자명 | 전남대학교 대학원 기계공학과. |
발행사항 | 광주: 전남대학교 대학원, 2012. |
형태사항 | vii, 141 p.: 삽화; 30 cm. |
대등표제 | Heater-integrated micro probe arrays for micro/nano lithograpy application |
ISBN | |
학위논문주기 | 학위논문(박사)--전남대학교 대학원 일반대학원 기계공학과2012. 2 |
일반주기 |
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지도교수: 이동원 |
서지주기 | 참고문헌 : p.116-133 |
시스템주기 | Requires PDF file reader(application/pdf) |
비통제주제어 | Thermal lithography,AFM,Cantilever,Micro xy-stage,Graphene |
분류기호(DDC) | 621.8 |
언어 | 영어 |
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No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 9109777 | TD 621.8 최64ㅎㅈ 2012 | 중앙도서관[별관]/보존자료실/ | Y4137992 | 대출불가(별치) |