자료유형 | 단행본 |
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서명/저자사항 | 웨이퍼 세정기술 / 카렌 A. 라인하르트, 베르너 컨 [공]저 ; 장인배 역. |
개인저자 | Reinhardt, Karen Kern, Werner 장인배, 역 |
발행사항 | 서울 : 씨아이알, 2020. |
형태사항 | xxix, 891 p. : 삽화, 챠트 ; 26 cm. |
원서명 | Handbook of silicon wafer cleaning technology(3rd ed.) |
ISBN | 9791156108412 |
일반주기 |
찾아보기: p. 880-890
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서지주기 | 각 chapter마다 참고문헌 수록 서지적 각주 수록 |
분류기호(DDC) | 621.38152 |
언어 | 한국어 |
보존/밀집/기증 자료 신청 분관대출 서가부재도서 무인예약대출 배달서비스 소장위치출력
No. | 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 밀집번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 | 매체정보 |
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1 | 1445586 | 621.38152 R37hKㅈ | 중앙도서관[본관]/3자료실(3층)/ | 대출가능 | |||||
2 | 1445587 | 621.38152 R37hKㅈ c.2 | 중앙도서관[본관]/3자료실(3층)/ | 대출가능 |