| LDR | | 00830nam ac200265 c 4500 |
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| 005 | | 20140201132258 |
| 007 | | ta |
| 008 | | 021008s2001 ggka 000a korBU |
| 035 | |
▼a KRIC08378010 |
| 040 | |
▼a 224010
▼d 224010
▼c 224010 |
| 082 | 04 |
▼a 629.892
▼2 20 |
| 090 | |
▼a 629.892
▼b 한17ㅅㄱ |
| 093 | 1 |
▼a 736682 |
| 110 | |
▼a 한국.
▼b 과학기술부. |
| 245 | 10 |
▼a 세정용 300mm Wafer 반송시스템 개발=
▼x 300mm Wafer Transfer System for Cleaner/
▼d 과학기술부 編. |
| 260 | |
▼a 과천:
▼b 과학기술부,
▼c 2001. |
| 300 | |
▼a 74 p.:
▼b 삽화;
▼c 30 cm. |
| 500 | |
▼a 협동연구기관 : 한국생산기술연구원 |
| 500 | |
▼a 주관연구책임자: 박순규, 연구기관: 케이,씨,텍 부설연구소 |
| 700 | 1 |
▼a 박순규 |
| 710 | |
▼a 케이.씨 텍 부설연구소. |
| 710 | |
▼a 한국생산기술연구원. |
| 950 | 1 |
▼a 가격불명 |