1, 서론. -- 2, 문헌조사. -- 2.1, Pt 기판 제작 연구. -- 2.2, 초전 센서의 원리 및 특성. -- 3, Sputtering 법을 이용한 기판용 Pt 박막의 증착에 관한 연구. -- 4, ECR enhanced sputtering 장비의 제작 및 P(L)T 재료의 증착 및 특성 분석. -- 4.1, ECR enhanced 4-target dc/rf magnetron sputtering system 제작. -- 4.2, ECR enhanced sputtering 방법에 의한 P(L)T 박막증착. -- 5, ECR CVD 방법에 의한 PLT 박막 증착. -- 6, 결론